偶看新闻赵四我是歌手:LCD制造过程中光刻针孔原因的分析和解决方法
来源：百度文库 编辑：偶看新闻 时间：2024/05/01 12:40:29
一、引言
在LCD制造过程中，光刻是重要的一道工序，其目的是利用化学的和物理的方法在ITO玻璃上涂覆一层致密的光刻胶膜，然后覆盖掩膜版用紫外线进行选择性照射，然后经过显影露出不需要的ITO部分，用强酸腐蚀掉，需要保留的ITO部分由于光刻胶的保护而保留下来，最后洗掉光刻胶，就在ITO玻璃上形成了我们需要的图形。而在这道工序的过程中，光刻针孔是很常见的一种过程缺陷，光刻针孔其实是在光刻过程中形成的表面光刻胶膜的微小缺失，一般尺寸很小，目视很难发现，在显微镜下观看如图1：
如图1所示，本应覆盖着ITO玻璃表面的光刻胶膜上出现了缺失，在刻蚀时针孔内的ITO得不到光刻胶的保护会被腐蚀掉，这样在本该得到保留的ITO图形中就出现了和针孔形状相同的缺失，在加电显示时就会造成显示针孔甚至断路的缺陷，如图2所示。在过程检验中，想要发现光刻的针孔是比较困难的，因为较小的尺寸使得用肉眼很难发现，用显微镜又很难做到整片玻璃的全面检查，因此往往在最后的通电测试中才能发现，造成无法挽回的损失。
二、原因分析
根据在实际生产过程中遇到的问题，需要对原材料、设备、工艺等各方面进行了综合分析，总结出光刻针孔产生的原因有以下几种：
光刻胶中存在小气泡，在涂覆过程中受涂胶辊挤压气泡破裂，在玻璃的相应部位就会产生针孔，形状为圆形或近似圆形，如图3所示。
涂胶辊与光刻胶的结合性弱造成涂胶辊沟槽内不沾胶，涂覆后就会形成针孔，形状一般为和沟槽形状相似的长条形。
ITO玻璃清洗不净，玻璃有油污或颗粒造成表面不粘胶。
显影设备不合适会形成针孔，正常情况下，显影槽连接着排风装置，由于显影槽的顶盖密封性很好，因此产生负压，空气从显影槽入口进入，形成吹向显影槽内的气流，该气流可以起到阻止喷射显影液产生的溅射液滴落在玻璃上的作用。但如果显影槽变形或破损，破坏了气密性，外部空气从顶盖处流向了槽内，使得溅射液滴会落在玻璃上，在外部空气的流动作用下加速了显影液的蒸发，使得碱浓度迅速上升，达到一定浓度后就会腐蚀掉光刻胶，形成针孔，尤其是当流水线由于异常而报警停线时，此现象尤为严重。针孔如图4所示。
三、分析与解决
根据针孔形成的各种原因，需要根据实验确定不同的解决措施:
对于第一种原因，光刻胶中存在的气泡是在运输和搬运过程中的由于晃动造成的，在涂胶时观察涂胶辊两侧可见明显的气泡，这是由于光刻胶受到辊子挤压而流向涂胶辊两端，因此有部分气泡随光刻胶流到了两端，在生产过程中的解决办法也比较简单，那就是静置12小时后再使用，效果比较明显，观察涂胶辊两端几乎看不到气泡，涂胶后检查也几乎看不到气泡。