来源：百度文库 编辑：偶看新闻 时间：2024/05/01 02:54:52
MOVPE
气相外延VPE（Vapor Phase Epitaxy）也称为化学气相沉淀CVD（Chemical Vapor Deposition） 所谓在某些书籍上所出现的MOVPE其实就是鼎鼎大名的MOCVD，即MOCVD/MOVPE：金属有机化学气相沉积系统。 MOCVD 金属有机物化学气相淀积（Metal- OrganicChemicalVaporDeposition，简称 MOCVD），1968 年由美国洛克威尔公司提出来的一项制备化合物半导体单品薄膜的新技术。该设备集精密机械、半导体材料、真空电子、流体力学、光学、化学、计算机多 学科为一体，是一种自动化程度高、价格昂贵、技术集成度高的尖端光电子专用设备，主要用于GaN（氮化镓）系半导体材料的外延生长和蓝色、绿色或紫外发光 二极管芯片的制造，也是光电子行业最有发展前途的专用设备之一。金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)是利用金属有机化合物作为源物质的一种化学气相淀积(CVD)工艺. MOCVD广泛被关注与LED的兴起有关。在蓝光LED芯片的生长中，一般都是使用MOCVD作为生长工具。这是由蓝光LED芯片的制作工艺特性决定的。 以AIXTRON公司的MOCVD为例，主要是由反应室，传送室，射频源以及气路部分构成。它是利用金属有机源和参与反应的进程气体在一个低压高温的反应室中进行淀积，以生长出具有复杂掺杂层的芯片。 MOCVD设备昂贵，配套设施以及所需原材料也昂贵无比。确实是烧钱的机器。在出现MOCVD之前，MBE算是最厉害的烧钱机器，以前大家都叫MBE为Money Burn Equipment。现在应该让给MOCVD了。 世界上最大的两家MOCVD生产商为德国的AIXTRON和美国的VEECO。AIXTRON收购了Thomas，VEECO收购了Emcore。现在是这两家独大。日系的MOCVD一般只在日本本土占有市场。
偶看新闻