群星 mod整合:PMN-PT材料创建主动微机电系统

来源：百度文库编辑：偶看新闻时间：2024/04/29 12:04:25

PMN-PT材料创建主动微机电系统

来源：国防科技信息网作者：冯园园时间：2011-11-29 10:25:09

据微新闻网站11月26日报道 美国威斯康星大学麦迪逊分校材料科学与工程及物理学教授严昌范（Chang-Beom Eom）领导了一支团队，进行铌镁酸铅-钛酸铅（PMN-PT）的研究，他们掌握了这种材料的压电特性，在同样的电场下比传统的压电材料能提供更多的机械位移，并利用这种材料压电特性制造了主动（hyper-active）微机电系统。

这支团队使用晶片制造技术将PMN-PT分层堆积到硅衬底上，而不是一开始就大量生产压电材料并研磨使用在近纳米器件中。这种原子级加工控制技术阻止了不同组件之间的化学反应。

严昌范的团队将PMN-PT放到一个硅衬底上，增加了一个非常薄的钛酸锶层作为一个模板并模拟了硅的结构。然后，锶钌层当作电极。最后，单晶压电材料使用PMN-PT。

严昌范表示，他们的研究人员已经测试了PMN-PT材料的压电响应，和理论预测是一致的，这种压电特性和大多数单晶材料性能一样好。

最后研制出的器件称为主动MEMS。这种材料还能用于制造压电MEMS。

主动MEMS器件应用在信号处理、通信、医学影像及纳米定位执行器，可以降低功耗并提高执行器的速度和传感器的灵敏度。此外，通过一个能量收集的过程，主动MEMS器件可以把输入源能量转换为电能，如机械振动转换成电能，为其他一些如无线通信的小型设备供电。

（工业和信息化部电子科学技术情报研究所 冯园园）

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