开心做出戏下载:真空获得—真空泵
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真空获得—真空泵
1654年,德国物理学家葛利克发明了抽气泵,做了著名的马德堡半球试验。
原理:当泵工作后,形成压差,p1 >p2,实现了抽气。
n 真空泵的分类
气体传输泵: 是一种能将气体不断地吸入并排出泵外以达到抽气目的的真空泵,例如旋片机械泵、油扩散泵、涡轮分子泵。
气体捕集泵: 是一种使气体分子短期或永久吸附、凝结在泵内表面的真空泵,例如分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵和吸气剂泵。
n 真空泵的主要参数
抽气速率: 定义为在泵的进气口任意给定压强下,单位时间内流入泵内的气体体积
或表示为:
其中,Q为单位时间内流入泵的气体量。泵的抽气速率S并不是常数,随P而变。
极限压强:Pn(极限真空)
最高工作压强:Pm
工作压强范围(Pn-Pm):泵能正常工作的压强范围
几种常用真空泵的工作压强范围:
旋片机械泵105-10-2pa
吸附泵105-10-2pa
扩散泵100-10-5pa
涡轮分子泵101-10-8pa
溅射离子泵100-10-10pa
低温泵10-1-10-11pa
n 几种常用真空泵的工作原理
l 旋片机械泵
工作过程是: 吸气—压缩—排气。
定子浸在油中起润滑,密封和堵塞缝隙的作用。
主要参量是: 抽速和极限压强。
由于极限压强较高, 常用做前级泵(预抽泵)。
旋片式机械泵
l 油扩散泵
工作过程是:油蒸发—喷射—凝结,重复循环
由于射流具有高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300—500),故能有效地带走气体分子。
扩散泵不能单独使用,一般采用机械泵为前级泵,以满足出口压强(最大40Pa),如果出口压强高于规定值,抽气作用就会停止。
1. 水冷套; 2. 喷油嘴; 3. 导流管;4. 泵壳; 5. 加热器
l 涡轮分子泵
工作过程是:高速旋转叶片(30000转/分)—对气体分子施以定向动量—压缩—排气。
优点:无油,洁净,启动快,制动快,可忍受大气冲击。
缺点:由于高速旋转,不能在磁场中使用,否则会产生涡流,导致叶轮发热、变形等严重后果,对氢气等轻质气体抽速较小, 价格昂贵。
1. 动叶轮;2. 泵壳;3. 涡轮排;4. 中频电动机;5. 底座;
6. 出气口法兰;7. 润滑油池;8. 静叶轮;9. 电机冷却水管.